美國Tousimis Autosamdri-931 Cleanroom系列

觸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

該系列為臺式臨界點(diǎn)干燥儀，可在超凈間工作，有3個(gè)型號可選：

1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超過(guò)2"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超過(guò)3"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱(chēng)為臨界點(diǎn)干燥（又稱(chēng)超臨界干燥），因為它存在狀態(tài)的連續性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無(wú)明顯的區別，分界面的表面應力降到零。這種現象具有特定的溫度和壓力，被稱(chēng)為臨界點(diǎn)。零表面應力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應力對試樣的損壞。 
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過(guò)渡液體，即CO2 從液體轉為氣體時(shí)，在臨界點(diǎn)無(wú)表面應力對樣品的破壞。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

?防靜電設計，適合潔凈室材料制造應用

?明亮的觸摸屏控制

?默認“自動(dòng)模式”設置，適用于大多數晶圓和裸片MEMS應用

?每次可處理多達 5片基板（晶圓或裸片）

?創(chuàng )建和存貯用戶(hù)自定義程序，用于不同樣品

?“慢充”功能可保護大部分脆弱樣品

?快速冷卻腔室(1到3分鐘內從25°C冷卻至3°C)

?采用免維護渦流旋動(dòng)法進(jìn)行置換攪拌，無(wú)需攪拌棒

?外部可更換的0.5µm置換后過(guò)濾器，便于維護

?配備耐氟樣品架，可選不同腔室分別用于干燥3" 、 2"直徑的晶圓或邊長(cháng)為10mm的方形裸片

?對于外部鋼瓶供應的液態(tài)CO₂進(jìn)行顆粒過(guò)濾，截留率為99.5%以上

?內部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO₂直接輸送至工作腔室， 顆粒過(guò)濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上

?內置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結或機體靜電，整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲

?"Stasis軟件" ，干燥凝膠和其它復雜樣品

主要技術(shù)規格

? 工作腔室尺寸：有三種腔室直徑可供選擇 1.25"、2.50" 、3.40"

? 壓力測量范圍：0-2000psi. 

? 溫度測量范圍：-30°C to 60°C 

? 控制方式：觸摸屏全自動(dòng)程序控制

常規配置

? 柔性高壓液態(tài) CO2 供應軟管，便于現場(chǎng)安裝 

? 液體 CO2系統輸送過(guò)濾

? 耐氟樣品架：基于不同尺寸腔室分別用于干燥3"、2"的晶圓或邊長(cháng)為10mm的方形裸片

? 柔性排氣管易于安裝 

? 備用腔室 O 形圈、腔室燈和保險絲

注：美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國客戶(hù)中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類(lèi)，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內的材料研究用途；

非潔凈室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常規臨界點(diǎn)干燥儀

2）Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

3）Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

4）Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

潔凈室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)`干燥儀

9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（最大樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。客戶(hù)可基于不同的應用選擇不同的型號。