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覃思科技_Safematic

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瑞士Safematic鍍膜儀_電鏡制樣
Tousimis CPDs

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KA Imaging X射線(xiàn)產(chǎn)品

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南京覃思科技有限公司

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美國Tousimis AUTOSAMDRI-815/815B Series B系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀_潔凈室版
全部分類(lèi)
815_B
815B_B

美國Tousimis AUTOSAMDRI-815/815B Series B系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀_潔凈室版

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品,凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品,以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓(最大樣品尺寸8英寸,一次同時(shí)干燥5片)等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用二氧化碳(CO2)臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品,具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。該系列CPD通過(guò)微處理控制器來(lái)實(shí)現自動(dòng)處理過(guò)程,采用防靜電設計,適合潔凈室(超凈間)材料制造應用;該系列為臺式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀,有2個(gè)型號可選:1)AUTOSAMDRI-815 Series B,用于1"的晶圓超臨界干燥。2)AUTOSAMDRI-815B Series B,用于不超過(guò)4"的晶圓超臨界干燥
產(chǎn)品型號:
Tousimis AUTOSAMDRI-815/815B Series B
815_B
815B_B
產(chǎn)品描述

AUTOSAMDRI-815/815B Series B 系列CPD

全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

該系列為臺式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀,可在超凈間工作,有2個(gè)型號可選:

1)AUTOSAMDRI-815 Series B,用于1"的晶圓超臨界干燥

2)AUTOSAMDRI-815B Series B,用于不超過(guò)4"的晶圓超臨界干燥

 

臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱(chēng)為臨界點(diǎn)干燥(又稱(chēng)超臨界干燥),因為它存在狀態(tài)的連續性,即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無(wú)明顯的區別,分界面的表面應力降到零。這種現象具有特定的溫度和壓力,被稱(chēng)為臨界點(diǎn)。零表面應力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品,避免了表面應力對試樣的損壞。 
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理(梯度脫水),但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi,很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2,它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合,因而必須用第三種介質(zhì),通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過(guò)渡液體,即CO2 從液體轉為氣體時(shí),在臨界點(diǎn)無(wú)表面應力對樣品的破壞。

 

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn) 

? 通過(guò)微處理控制器來(lái)實(shí)現自動(dòng)處理過(guò)程;防靜電設計,適合潔凈室材料制造應用

? LED指示,使每一個(gè)程序模式的操作一目了然 

? 通過(guò)微計量閥實(shí)現精確控制流量,支持可重復的精確流量設置。 

? 便捷的頂裝式工作腔室,帶可視窗口,可觀(guān)察腔室內部狀態(tài) 

? 配有過(guò)濾裝置,保護樣品和閥門(mén)。內部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室, 顆粒過(guò)濾低至0.08µm,截留率為99.999%以上

? 內表面材質(zhì)耐用于液態(tài)CO2、超純乙醇和丙酮環(huán)境 

? 自動(dòng)臨界點(diǎn)溫度-壓力調節,確保系統安全;預設靜態(tài)壓力控制模塊,自動(dòng)控制系統壓力和保持壓力穩定性

? 快速冷卻腔室,3分鐘內將腔室從室溫降低至接近0℃(815B可在FILL和PURGE模式下自動(dòng)保持溫度) 

? 對于815B型,標配填充塊,可將腔室內徑減小到3"、2"或1.25",可減少CO2浪費,使液態(tài)CO2的使用效率最大化 

? 每次運行可以處理5 x 4",5 x 3", 5 x 2",5 x 1"直徑的晶圓或者5 x 10mm方晶(提供可以兼容HF的晶圓/方晶樣品架,方便運輸和處理晶圓和方晶)

? 內置冷凝器,分離廢棄乙醇和二氧化碳,消除任何管路凍結或機體靜電,整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲

 

主要技術(shù)指標

? 工作腔室直徑:1.25"I.D.@815 Series B;4.5"I.D.@815B Series B 

? 壓力測量范圍:0-2000psi. 

? 溫度測量范圍:-30°C to 60°C 

? 操控方式:全自動(dòng)按鍵操控 

 

常規配置

? 柔性編織不銹鋼耐高壓管,用于輸送液態(tài)CO2 

? 對于815B型,配有3個(gè)腔室填充塊,可將腔室內徑減小到 3"、2"或 1.25" 

? 外部液態(tài)CO2過(guò)濾系統(#8784),可去除水/油以及小顆粒 

? 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣 

? 備用樣品腔室O形密封圏、腔室照明燈和保險絲

 

注:美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史,在中國客戶(hù)中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本潔凈室版本兩大類(lèi),前者常用于電鏡制樣,后者多用于超凈間內的材料研究用途;

非潔凈室版本共有7款CPD:

1)Samdri®-PVT-3D常規臨界點(diǎn)干燥儀

2)Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

3)Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

4)Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

5)Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

6)Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7)Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

潔凈室版本共有9款CPD:

1)Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers

2)Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers

3)Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers

4)Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

5)Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

6)Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7)Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers

8)Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers

9)Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 8”Wafers

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品,凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品,以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓(最大樣品尺寸8英寸,一次同時(shí)干燥5片)等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品,是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法;具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。客戶(hù)可基于不同的應用選擇不同的型號。

關(guān)鍵詞:
815 Series B
晶圓臨界點(diǎn)干燥
大腔室臨界點(diǎn)干燥儀
超凈間臨界點(diǎn)干燥
潔凈室臨界點(diǎn)干燥儀
CO2臨界點(diǎn)干燥儀
二氧化碳臨界點(diǎn)干燥
Tousimis CPD
AUTOSAMDRI-815/815B
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