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美國Tousimis C系列觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀 _晶圓專(zhuān)用CPD（清潔室版本）。C系列為立式（落地式）大型臨界點(diǎn)干燥儀，可在超凈間工作，有3個(gè)型號可選： 1）Autosamdri-934，用于不超過(guò)4"的晶圓超臨界干燥 2）Automegasamdri-936，用于不超過(guò)6"的晶圓超臨界干燥 3）Automegasamdri-938，用于不超過(guò)8"的晶圓超臨界干燥

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。Autosamdri-931 Cleanroom系列，采用防靜電設計，適合潔凈室（超凈間）材料制造應用；默認“自動(dòng)模式”設置，適用于大多數晶圓和裸片MEMS應用；每次可處理多達 5片基板（晶圓或裸片）；該系列為臺式臨界點(diǎn)干燥儀，有3個(gè)型號可選：1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圓臨界點(diǎn)干燥。2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超過(guò)2"的晶圓臨界點(diǎn)干。3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超過(guò)3"的晶圓臨界點(diǎn)干燥

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（最大樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用二氧化碳(CO2)臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。該系列CPD通過(guò)微處理控制器來(lái)實(shí)現自動(dòng)處理過(guò)程，采用防靜電設計，適合潔凈室（超凈間）材料制造應用；該系列為臺式全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀，有2個(gè)型號可選：1）AUTOSAMDRI-815 Series B，用于1"的晶圓超臨界干燥。2）AUTOSAMDRI-815B Series B，用于不超過(guò)4"的晶圓超臨界干燥

美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結構的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（最大樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結果可重復等特點(diǎn)。客戶(hù)可基于不同的應用選擇不同的型號。AUTOSAMDRI-915B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀（CPD），通過(guò)微處理控制器來(lái)實(shí)現自動(dòng)處理過(guò)程，采用防靜電設計，適合潔凈室材料制造應用；每次運行可處理5 x 6"直徑的晶圓，也可一次處理或 5 x 4"、?5 x 3"、5 x 2"直徑的晶圓或者 5 x 10mm 方形裸片；腔室直徑：6.5" I.D.